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ウェハーステージのＸ・Ｙ軸移動は、グリップを移動して粗動し、マクロメーターヘッドで微動し、迅速かつ高精度に位置合わせできます。
ウェハーステージのＺ軸移動は、レバーで３段階（2mm）に粗動し、マクロメーターヘッドで微動し、効率よく作業できます。
ウェハーステージのθ軸回転は、360°粗動し、マクロメーターヘッド（10°）で微動し、操作性の良い平行合わせができます。
ウェハーステージは、上昇時にウェハーと針が接触するため、レバーを誤操作しても、下降してウェハー針共に破損しません。
ポジショナーステージが固定されているので、ポジショナー操作時、振動を気にせず作業ができます。
φ200mm
ウェハーステージ
X軸粗動：200mm、微動：13mm
Y軸粗動：240mm、微動：13mm
Z軸粗動：0〜1.7〜2.0mm、微動：13mm
θ軸粗動：360°、微動：±5°（10°）
ウェハーステージ移動距離
W460mm x D530mm x H480mm
寸法
32kg
重量
顕微鏡、ポジショナー
オプション
※本仕様は予告なく変更することがあります。
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